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《微納電子技術(shù)》是國(guó)家新聞出版局批準(zhǔn)公開發(fā)行、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司主管、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所主辦的科技期刊。

《微納電子技術(shù)》于2002年創(chuàng)刊（月刊），是中國(guó)最早公開出版發(fā)行的涉足納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的雜志，對(duì)國(guó)內(nèi)納米科學(xué)與技術(shù)、MEMS技術(shù)領(lǐng)域具有一定的影響。其內(nèi)容包括：納米電子學(xué)、納米電子器件、納米材料、納米測(cè)量技術(shù)與設(shè)備、MEMS器件與技術(shù)、納米技術(shù)應(yīng)用以及國(guó)內(nèi)外納米材料與器件的最新進(jìn)展報(bào)道，兼顧微米電子領(lǐng)域的最新研究成果和進(jìn)展。

《微納電子技術(shù)》是中文核心期刊、中國(guó)科技核心期刊，不僅被國(guó)內(nèi)的中國(guó)期刊網(wǎng)、中國(guó)學(xué)術(shù)期刊（光盤版）、萬(wàn)方數(shù)據(jù)數(shù)字化期刊群入網(wǎng)期刊、中文科技期刊數(shù)據(jù)庫(kù)等收錄，而且被國(guó)外的美國(guó)《化學(xué)文摘》（CA）、美國(guó)《劍橋科學(xué)文摘》（CSA）、英國(guó)《科學(xué)文摘》（SA，INSPEC）、俄羅斯《文摘雜志》（AJ.VINITI）、美國(guó)《烏利希期刊指南》收錄。

欄目設(shè)置：
技術(shù)論壇
微納電子技術(shù)研究與進(jìn)展。

器件與技術(shù)
單電子器件（單電子晶體管、開關(guān)、量子旋轉(zhuǎn)門器件、單電子存儲(chǔ)器等）；量子器件（HEMT、量子線晶體管、量子干涉器件、諧振隧道二極管RTD、量子阱激光器、量子點(diǎn)陣列、紅外探測(cè)器等）；分子電子器件（電子開關(guān)、 電化學(xué)分子器件等）；生物芯片；超微導(dǎo)線、超微開關(guān)以及電路芯片的研制。

材料與結(jié)構(gòu)
納米電子材料；納米半導(dǎo)體材料；納米光電子材料；納米生物醫(yī)用材料；納米儲(chǔ)能材料（包括納米粒子、納米棒、納米管、納米纖維、納米薄膜、超晶格結(jié)構(gòu)、三維納米結(jié)構(gòu)與介孔結(jié)構(gòu)以及上述各種形式的復(fù)合材料等形式的量子點(diǎn)、量子線、量子阱等）；MBE、MOCVD生長(zhǎng)技術(shù)及相關(guān)材料。

MEMS與傳感器
微傳感器、微執(zhí)行器、微控制器、微存儲(chǔ)器、光MEMS、RF MEMS、BioMEMS、NEMS等的設(shè)計(jì)研究；體硅工藝技術(shù)、表面硅工藝技術(shù)、MEMS封裝技術(shù)、LIGA技術(shù)及準(zhǔn)LIGA技術(shù)等工藝技術(shù)。

加工、測(cè)量與設(shè)備
SEM(掃描電子顯微鏡)、STM(掃描隧道顯微鏡)、SPM(掃描探針顯微鏡)、AFM（原子力顯微鏡)等納米結(jié)構(gòu)的顯微與測(cè)量技術(shù)；電子束、離子束、X射線曝光、ICP和RIE等刻蝕、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、硅–硅鍵合等微細(xì)加工技術(shù)與設(shè)備。

國(guó)際視點(diǎn)
報(bào)道國(guó)際上微納電子技術(shù)的最新進(jìn)展、市場(chǎng)動(dòng)態(tài)和產(chǎn)品信息。